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光柵式傳感器及其工作原理

時間:2018-12-27 15:46:54來源:網(wǎng)絡 作者:admin 點擊:
光柵式傳感器指采用光柵疊柵條紋原理測量位移的傳感器。光柵是在一塊長條形的光學玻璃上密集等間距平行的刻線,刻線密度為10~100線/毫米。由光柵形成的疊柵條紋具有光學放

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